?聚對二甲苯化學性質不活潑，表面涂層保形，而且是一種很好的聚合物絕緣層。歷史上，它被用作醫用涂料、植入式神經絲探針的絕緣層、層間電介質，并且在1997進入MEMS領域，成為流體互連的涂層材料。聚對二甲苯因其淀積方式(真空中)、無針孔淀積、低加工溫度、透明度和微加工工藝的兼容性成為一種流行的標準MEMS材料。自其進人MEMS領域以來，已被開發成各種各樣MEMS應用中的結構材料。聚對二甲苯的碳化/裂化和離子注入工藝也被應用于MEMS中作為犧牲或傳感材料。聚對二甲苯結構的進一步改進已經在研究中，特別是在生物學和生物醫學應用方面。 

在MEMS應用中，聚對苯薄膜表現出一些非常有用的特性。這些特性包括：非常低的內應力、可以在室溫下淀積、保角涂覆、化學惰性以及刻蝕選擇性。聚對二甲苯膜用作電絕緣層、化學防護層、保護層和密封層是十分理想的。聚對二甲苯已用來做微流控溝道、閥門和傳感器(加速度傳感器，壓力傳感器，麥克風和切應力傳感器)。通常采用控制二聚物的量來調控聚對二甲苯覆蓋層的厚度。在原位探測聚對二甲苯厚度的監控器與末端探測器已經研制出來。